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電子情報通信学会超音波研究会において、生命医科学研究科の冨永卓海さんが学生研究奨励賞を受賞しました。

'21年3月19日 更新
2020年11月5日(木)に開催された電子情報通信学会超音波研究会において、冨永卓海さん(生命医科学研究科 医工学・医情報学専攻 超音波エレクトロニクス・生体計測研究室)が学生研究奨励賞を受賞しました。同賞は、超音波研究会において、優れた研究成果を発表した学生に対して贈られるものです。
本研究では、5G以降のスマートフォン向け弾性波デバイスのへ応用が期待されるScAlN(スカンジウム窒化アルミニウム)について、その薄膜作製技術を検討し、これまで問題とされていた圧電性の劣化が引き起こされる原因を明らかにしました。

発表題目
低圧スパッタ成膜で増大する負イオン照射がScAlN薄膜の結晶性と圧電性に及ぼす影響

受賞者
冨永卓海(生命医科学研究科 医工学・医情報学専攻 博士課程(前期課程)1年次生)

連名者
髙柳真司(同志社大学 生命医科学部 助教)
柳谷隆彦(早稲田大学 理工学術院 准教授)
冨永卓海さん
2020年11月5日(木)に開催された電子情報通信学会超音波研究会において、冨永卓海さん(生命医科学研究科 医工学・医情報学専攻 超音波エレクトロニクス・生体計測研究室)が学生研究奨励賞を受賞しました。同賞は、超音波研究会において、優れた研究成果を発表した学生に対して贈られるものです。
本研究では、5G以降のスマートフォン向け弾性波デバイスのへ応用が期待されるScAlN(スカンジウム窒化アルミニウム)について、その薄膜作製技術を検討し、これまで問題とされていた圧電性の劣化が引き起こされる原因を明らかにしました。

発表題目
低圧スパッタ成膜で増大する負イオン照射がScAlN薄膜の結晶性と圧電性に及ぼす影響

受賞者
冨永卓海(生命医科学研究科 医工学・医情報学専攻 博士課程(前期課程)1年次生)

連名者
髙柳真司(同志社大学 生命医科学部 助教)
柳谷隆彦(早稲田大学 理工学術院 准教授)